装置ラインアップ




WA1000
(ウエハ接合)12”対応開発装置
WFP2000
Multi SAB対応量産装置
WF1500
(常温直接接合)量産装置
WP2000
(プラズマ陽極接合)開発装置
WS1500
(Au SAB接合)量産装置
WP1500
(プラズマ陽極接合)量産装置
WAP1000
(SABプロセス)開発装置
HBWS3000
(プラズマ親水化接合)12”対応量産装置
WM1500
(樹脂接合)量産装置
HBCW3000
(ハイブリッドボンディング対応
COW量産装置)
BG3000
(COW→WOW統合システム)
SCA1000
(光素子、3Dチップ用高精度ボンダー)
CG100
(Cu還元活性化接合装置)
NI2000
(熱・UVナノインプリント)
8"ウエハ対応量産装置
SR2000
(ステップ&リピートナノインプリント装置)



